Zhrnutie
Vývoj technológií, ktoré
umožňujú výrobu neustále sa zvyšujúceho počtu
tranzistorov na čipe kladie vysoké nároky na viaceré
vedné odbory. Spolu s vývojom nových zdrojov žiarenia
pre litografiu, vývojom technológií na miniaturizáciu
tranzistorov ďalej pod vlnovú dĺžku žiarenia a vývojom optických
sústav pre EUV časť spektra treba vyvíjať aj vhodné
fotorezisty a súvisiace chemické technológie. Úloha
aplikovanej fyziky má pre rozvoj informačnej techniku určite dominantný
význam.